低温真空探针台

低温真空探针台变温范围80~350K。极限真空度优于5X10-4pa。可以增加气敏传感附件和光电测试性能附件。

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产品详情

低温探针台特征

1.真空腔体：真空度优于6×10^-4Pa。降温后优于6×10^-5Pa。留有2个用户法兰接口（可接入气体或者额外的电缆）；

2. 探针控制：标配4个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm，调节精度优于10um。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆；

3. 显微镜模块：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率：1.4X~9X（使用1X附加物镜时），视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦；

4. 变温样品台：50mm直径。变温范围：80K~400K。控温稳定性优于±0.01K；

5. 可选配接入光纤，可将一根或几根电学探针替换为光纤；

6. 系统直流漏电低于1pA。

7. 产品含进口分子泵机组、全量程真空规和智能温控仪。

低温真空探针台产品参数

型号	LTZ-4H-06
外形	8388001355
系统功率	1KW
电压	220V三线交流
X-Y轴行程定位精度	±0.01mm
探针调节精度	±0.01mm
腔体真空度	1.0*10^-6pa
重量	150kg
测试直径	6/8/12寸
探针轴行程	110mm
探针XYZ行程	15mm
制冷方式	液氮制冷
X-Y轴额定速度	手动调节
腔体直径	245mm
探针臂数量	4

温度下限	77K
探针臂	每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针，样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆
显微镜倍率	4X~9X（使用1X附加物镜时）
地脚	底部塑胶减震地脚
探针频率	26GHz—100GHz（可选）