6英寸简易探针台MPS150SV

MPS150SV是经济型探针台解决方案，适合需要在短的时间内对半导体元器件及材料、晶圆片进行IV/CV测试的用户使用。结合半导体器件分析仪可作为实验室的器件分析测试平台。
MPS150SV 探针台为保护样片测量周期内高质量的接触，通过非常稳定的系统平台设计，完美的振动隔离方案，能够让用户取得想要的测量精度。工业标准探针座经过优化光学和无反向间隙X-Y-Z移动，接触分离驱动达到1μm重复性，相对于半自动探针台探针座摆放更加精密。高质量的三同轴信号线缆保证测试特性电流达到fA级别低噪声。
载片台可提供加热变温选件，让器件测试更加容易。载片台XY移动可单手调节操作, 高度平整的表面及可移动性，让初学者和用户容易操作上手。

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产品详情

测试参数：IV,CV,S参数，阻抗参数

配合仪器：B1500A半导体器件分析仪,B2900A 源测量单元,E4980A LCR表,E5071C阻抗分析仪，N5245A矢网等

技术指标:
可测试Wafer尺寸：2英寸~6英寸
Chuck XY向行程：160mm*160mm
Chuck移动分辨率：旋钮调节
Chuck旋转范围： ±5°微调，360°粗调
Chuck Z向接触分离：1mm
Chuck 真空：分三档输入
台面Z向行程：10mm,接触分离1mm
上下片方式：手动旋钮式
视频显示系统：双目体式显微镜标配(45X)LED环形灯, 选配CCD工业相机，实时芯片图像
显微镜机构调节: XY向±25mm，Z向±35mm
遮光屏蔽罩：选配
探针：直流钨针、射频微波探针
探针座：精密千分尺结构，X,Y,Z三向可调节，磁力座
外形尺寸：610mm×560mm×500mm（长×宽×高）
设备重量: 约40 KG
使用环境：电源220VAC，功率0.05kW，真空-80kPa，环境温度15ºC~30ºC，相对湿度＜60%